QPV高分辨率壓力調節器：提升濺射工藝精度的關鍵解決方案

濺射技術作為半導體制造和高性能光學領域的核心工藝，通過在真空環境中利用氬等離子體轟擊靶材，實現納米級薄膜的均勻沉積。這一過程的成功高度依賴于等離子體穩定性，而氬氣壓力與流量的控制精度直接決定了：

• 薄膜厚度的均勻性（影響器件導電/光學性能）

• 靶材利用率（關系生產成本）

• 涂層附著力（決定產品可靠性）

   

  傳統壓力控制方案常面臨等離子體密度波動導致的三大痛點：

1. 膜層缺陷：壓力偏差引發粒子濺射軌跡改變，產生針孔或島狀生長

2. 材料浪費：非均勻侵蝕導致靶材利用率下降30%以上

3. 工藝不可重復：批次間參數漂移需頻繁調整制程配方

    

   QPV調節器如何重構濺射工藝標準----突破性分辨率實現原子級沉積控制

QPV的±0.005%全量程分辨率（相當于0-2英寸水柱量程下0.001英寸水柱的調節步長），使氬氣壓力波動控制在等離子體敏感閾值以內。

集成PID控制算法與實時壓力反饋（±0.02%重復性），有效抵消：

• 真空泵抽速波動

• 反應氣體混合時的壓力振蕩

• 多腔體并聯時的交叉干擾

軍工級可靠性保障連續生產 25G抗振動設計通過：

• 晶圓搬運機械臂引起的脈動

• 真空閥門切換時的壓力沖擊

• 7×24小時連續運行的疲勞累積

典型應用場景與改裝靈活性

半導體前端制程

• 邏輯芯片：高k介質沉積壓力控制±0.001PSI

• 存儲器件：3D NAND階梯覆蓋的定向濺射

光學鍍膜升級方案

• 抗反射鍍膜：多腔體同步壓力控制

• 柔性顯示：反應濺射中Ar/O?混合比動態調節

   

支持定制化改裝包括：

• 超高真空法蘭接口（CF/KF系列）

• 前饋控制模塊（應對快速工藝配方切換）

• 多氣體混合控制套件

技術規格再進化?

對于脈沖濺射等動態工藝，建議選配我們的高速數字IO模塊，可實現與射頻電源的μs級同步。我們為濺射工藝開發者提供工藝診斷-參數優化-系統集成全流程支持，如有需求，請聯系天津聯科思創科技發展有限公司。